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[产品库]主题: 深硅刻蚀方法您了解吗——苏州深硅 ...   发布者: 苏州深硅刻蚀厂家
09/29/2022
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深硅刻蚀方法您了解吗——苏州深硅刻蚀厂家

硅RIE刻蚀的基本原理含有F, Cl, Br, I单质或者化合物气体均可以作为硅的刻蚀剂,(离子束刻蚀)添加一些辅力气体有助于提高它的选择性,

常用刻蚀剂组合如: CF4/O2, CF2CL2, CF3CL,SF6rO2/CL2,CCL4, NF3, CCL4, CHF3等.不管上述哪一种化合物作为刻蚀剂,在等离子体中都会存在大量的卤素原子,它们以化学吸附方式与硅表面结合,在没有外力作用的情况下,反应生成的产物分离的速率很慢,特别是CI,Br,I原子更是如此,构成了Si与其它活性成份进--步接触的障碍,但是,当它们得到电子之后,就会 与Si 一起离开表面,所以,重掺杂的N型硅会显著增加自发反应的速度。这种反应是热力学上自发进行的反应,只要使它们相遇便能够促成反应,因此它是各向同性的,从热力学观点出发,按照F, Cl,Br,I顺序,它们与Si自发反应的能力逐渐减弱,I并不常用,可能是它的蒸汽压比较低,与硅的化合物不那么稳定。

刻蚀方法——苏州深硅刻蚀厂家小编来为大家娓娓道来 :

刻蚀最简单最常用分类是:干法刻蚀和湿法刻蚀。显而易见,它们的区别就在于湿法使用溶剂或流质来进行刻蚀。

湿法刻蚀是一个纯粹的化学反应过程,是指利用流质与预刻蚀材料之间的化学反应来去除未被掩蔽膜材料掩蔽的部分而达到刻蚀目的。其特点是:

湿法刻蚀在半导体工艺中有着广泛应用:磨片、抛光、清洗、腐蚀

优点是选择性好、重复性好、生产效率高、设备简单、成本低

缺点是:钻刻严重、对图形的控制性较差,不能用于小的特征尺寸;会产生大量的化学废液

干法刻蚀种类很多,包括光挥发、气相腐蚀、等离子体腐蚀等。按照被刻蚀的材料类型来划分,干法刻蚀主要分成三种:金属刻蚀、介质刻蚀和硅刻蚀 。介质刻蚀是用于介质材料的刻蚀,如二氧化硅。干法刻蚀优点是:各向异域好,选择比高,可控性、灵活性、重复性好,细线条操作安全,易实现自动化,无化学废液,处理过程未引入污染,洁净度高。缺点是:成本高,设备复杂。干法刻蚀主要形式有纯化学过程(如阻蔽式,下游式,桶式),纯物理过程(如离子铣),物理化学过程,常用的有反应离子刻蚀RIE,离子束辅力自由基刻蚀ICP等 [3] 。

干法刻蚀方式很多,一般有:溅射与离子束铣蚀, 等离子刻蚀(Plasma Etching),高压等离子刻蚀,高密度等离子体(HDP)刻蚀,反应离子刻蚀(RIE)。另外,化学机械抛光CMP,剥离技术等等也可看成是广义刻蚀的一些技术。

有图形的光刻胶层在刻蚀中不受到腐蚀源显著的侵蚀,这层掩蔽膜用来在刻蚀中保护硅片上的特殊区域而选择性地刻蚀掉未被光刻胶保护地区域。

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最后更新: 2022-09-29 20:42:37
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